陶瓷靶材的种类有哪些?各自应用在什么方向?

zxc2022-06-01 04:54:03陶瓷59

一、按用途分

1、日用陶瓷:如餐具、茶具、缸,坛、盆、罐、盘、碟、碗等。

2、艺术(工艺)陶瓷:如花瓶、雕塑品、园林陶瓷、器皿、相框、壁画、陈设品等。

3、工业陶瓷:指应用于各种工业的陶瓷制品。又分以下4各方面:

①建筑一卫生陶瓷: 如砖瓦,排水管、面砖,外墙砖,卫生洁具等;

②化工(化学)陶瓷: 用于各种化学工业的耐酸容器、管道,塔、泵、阀以及搪砌反应锅的耐酸砖、灰等;

③电瓷: 用于电力工业高低压输电线路上的绝缘子。电机用套管,支柱绝缘子、低压电器和照明用绝缘子,以及电讯用绝缘子,无线电用绝缘子等;

④特种陶瓷: 用于各种现代工业和尖端科学技术的特种陶瓷制品,有高铝氧质瓷、镁石质瓷、钛镁石质瓷、锆英石质瓷、锂质瓷、以及磁性瓷、金属陶瓷等。

二、按材料分

粗陶, 细陶 ,炻器,半瓷器,以至瓷器,原料是从粗到精,坯体是从粗松多孔,逐步到达致密,烧结,烧成温度也是逐渐从低趋高。

陶瓷靶材的种类及各自应用按应用来分,可分为半导体关联陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、磁记录陶瓷靶材、光记录陶瓷靶材、超导陶瓷靶材、巨磁电阻陶瓷靶材等.半导体关联陶瓷靶材(HfO,SiO,Si3N4,MoSi,TaSi,WSi,TiSi,PLZT,ITO,主要应用于栅极电介质膜.饨化膜,扩散阻挡膜,电容器绝缘膜,透明导电膜;显示陶瓷靶材 ZnS―Mn,ZnS-Tb,ZnS-Sm,CaS-Eu,SrS-Ce,Si3N4,MgO ,主要应用于电致发光薄膜发光层,电致发光薄膜绝缘层, 磁盘等;磁记录陶瓷靶材 Si3N4 ,主要应用于磁头,磁光盘(MO)保护;光记录陶瓷耙材 Si3N4, 主要应用于光盘保护膜;超导陶瓷靶材 YbaCuO, BiSrCaCuO ,主要应用于超导薄膜;巨磁电阻陶瓷靶材, 主要应用于薄膜太阳能电池窗;其它应用靶材 In₂O₃,LiNbO₃, BaTiO₃, PZT. ZnO ,主要应用于太阳能电池,压电薄膜按化学组成,可分为氧化物陶瓷靶材、硅化物陶瓷靶材、氮化物陶瓷靶材、氟化物陶瓷靶材和硫化物陶瓷靶材等.其中平面显示ITO陶瓷靶材国内已广泛生产应用.高介电绝缘膜用陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材具有广阔的应用前景.例:氧化物陶瓷溅射靶是高级陶瓷溅射靶中最常见的靶。氧化物陶瓷可以通过在高温下烧结而制成,其中一种或多种氧化物为主要主要成分,而其他次要氧化物为添加剂。它们分为简单氧化物陶瓷和复杂氧化物陶瓷。这种类型的常见溅射靶材包括氧化铝(Al2O3),氧化镁 (MgO),氧化铍(BeO),氧化锆 (ZrO2)等。大多数氧化物陶瓷具有高熔点,出色的绝缘性,耐热强度,抗氧化剂和腐蚀性能。因此,它们可以长时间暴露在高温和氧化环境中,值得在工程领域中广泛应用。